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iTomic MW Lite批量轻型系列原子层沉积镀膜系统

    iTomic MW Lite 批量轻型系列 ALD 镀膜系统,设备以国产化零部件为主导,可满足高端研发和新工艺试量产需求,尤其适用于,新型太阳能电池以及显示行业应用。



    1 、采用最新自主设计开发的模块化自动平台与 ALD 反应腔;

    2 、实现可自由选择的半自动或全自动 ALD 系统;

    3 、满足各类晶圆尺寸( 4 6 英寸)的工艺需求,适用于客户高端研发和新工艺开发;

    4 4 寸晶圆可实现单批次装载 450pcs

    5 、薄膜均匀性优,可实现片内< 1.5%;

    6、满足供应链高比率国产化需求。


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